ICP光譜學(xué)是20世紀60年代提出的一種分析方法，70年代發(fā)展迅速。目前，ICP光譜儀主要分為多通道型、單通道掃描型和全光譜直讀型。它主要用于無機元素的定性和定量分析。其主要性能指標為檢出限、短時穩(wěn)定性、長期穩(wěn)定性和儀器分辨率。我們下面來看看如何對ICP光譜儀進行更好的維護：
（1）進樣系統(tǒng)維護實驗人員應(yīng)每天對進樣系統(tǒng)維護，包括:泵管更換，炬管清洗，通霧化器（堵塞），霧室積液排除，廢液排放和冷卻循環(huán)水監(jiān)視等。
（2）冷卻循環(huán)水維護冷卻循環(huán)水應(yīng)根據(jù)情況進行維護，主要是定期更換冷卻液冷卻液應(yīng)保持無霉菌等微生物、不含腐蝕成分或含有防腐（緩蝕）成分、不結(jié)垢。
（3）氣路系統(tǒng)維護必須保證供應(yīng)足夠純度的潔凈氬氣，氬氣的輸出壓力應(yīng)維持在0.7Mpa，測試過程中避免斷氣熄火。進行短波（＜200nm）分析時對光室應(yīng)充分充氣，保證紫外波段分析的穩(wěn)定性0.5～1年應(yīng)檢查一次氣路：過濾器變臟與否，必要時需及時進行更換：檢查氣閥壓力表或流量計狀態(tài)是否正常。
（4）光路系統(tǒng)維護包括外光路和內(nèi)光路的光路系統(tǒng)都要進行維護，外光路維護相對頻繁，尤其是內(nèi)外光路的隔離窗體、外光路反光鏡表面易沾污，應(yīng)3～6個月清理1次外光路，根據(jù)各元素靈敏度情況進行準直。建議每年對內(nèi)光路進行1次維護。光路系統(tǒng)的維護建議由儀器維修工程師進行。
（5）電控系統(tǒng)維護電控系統(tǒng)維護應(yīng)由專業(yè)的工程師完成，經(jīng)驗豐富人員可進行電路板的清潔維護。
（6）軟件維護工作軟件是實驗人員對儀器的控管工具，需對軟件和數(shù)據(jù)進行控制和維護，以保障其功能正常、安全可靠。控制機應(yīng)設(shè)有密碼，禁止插入移動存儲器。
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